SEM掃描電鏡的設(shè)計(jì)思想和工作原理早在1935年便已被提出來了。1942年，英國首先制成一臺實(shí)驗(yàn)室用的掃描電鏡，但由于成像的分辨率很差，照相時(shí)間太長，所以實(shí)用價(jià)值不大。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的努力，尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展，到1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡。數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。

　　掃描電鏡在質(zhì)檢工作中一直起著非常重要的作用，廣泛應(yīng)用于金屬材料、無機(jī)非金屬材料以及高分子材料的微觀形貌分析檢測等工作中。由干傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡難干直接觀察檢測不導(dǎo)電樣品，而對非導(dǎo)電樣品進(jìn)行噴金成者噴碳處理后雖然可以用傳統(tǒng)的掃描電鏡進(jìn)行檢測，但是這使得檢測過程費(fèi)時(shí)費(fèi)力，而且對于樣品的微觀形貌會(huì)造成影響和干擾，在用掃描電鏡的能譜儀配件進(jìn)行樣品的成分檢測時(shí)也會(huì)影響到檢測結(jié)果，對于含水樣品及不適合噴金處理的半導(dǎo)體樣品，傳統(tǒng)的掃描電鏡則不適合進(jìn)行檢測工作。因此，傳統(tǒng)的高真空掃描電鏡在質(zhì)檢工作中有很大的局限性。SEM掃描電鏡的發(fā)展極大的擴(kuò)展了掃描電鏡在質(zhì)檢中的應(yīng)用，而且極大的節(jié)省了樣品的處理時(shí)間與樣品的檢測時(shí)間，并且降低了檢測結(jié)果的各種干擾因素，使得檢測結(jié)果更準(zhǔn)確。